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高性能帯電防止軟質プレート
高性能帯電防止軟質プレート エスロンDCシート
積水独自の導電可塑剤を練り込んだ軟質塩ビで、優れた除電性を有する高性能帯電防止軟質シートです。
低アウトガス帯電防止軟質シートのDCシートクリーンは、ウェハ汚染が従来の1/100。また、環境負荷の少ないオレフィン系素材を使用しています。
エスロンDCカタログ
ツールコード：- [pdf]（2,339.98 KB）
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